Nanonics近場掃描光學顯微鏡說明：

我們的創(chuàng)新
NANONICS IMAGING LTD.一直是掃描探針顯微鏡（SPM）領域中將近場光學顯微鏡（NSOM）技術和原子力顯微鏡（AFM）技術*結合的*。公司成立于1997年，在過去的十年里我們將新的概念應用到SPM系統(tǒng)中從而開拓了SPM市場領域一個新的視角。 Nanonics使用懸臂近場光學探針為業(yè)內提供了革命性的近場光學成像；同時也引入了雙探針技術、樣品掃描AFM系統(tǒng)；*個提供近場光學（NSOM）/原子力顯微鏡（AFM）低溫系統(tǒng)，Raman-AFM系統(tǒng)，多探針AFM系統(tǒng)和掃描電鏡（SEM）/AFM系統(tǒng)。

NANONICS是業(yè)界成立并且對此類系列產品經驗豐富的公司之一，其產品榮獲過許多大獎。在強大的NSOM/AFM的整合操作系統(tǒng)推動下，今天NANONICS繼續(xù)以強大的優(yōu)勢和全面的系統(tǒng)著市場。NANONICS憑借實力和品質，其產品涉足的領域從科研到工業(yè)，從生物學到半導體，從化學制品到無線電通訊，應用范圍極其廣泛。

我們的理念 – 提供SPM，近場光學和顯微鏡整合方案
Nanonics 致力于制造先的SPM儀器，我們將SPM技術和其它顯微鏡表征技術*的整合在一起。在納米科技表征技術領域中，為用戶提供一個開放并潛力的SPM表征技術平臺。

我們的技術
作為一家商業(yè)公司，我們有著自己*的技術優(yōu)勢。我們能提供大量種類齊全的納米探針。包括業(yè)內的懸臂近場光學（NSOM）探針到熱學，電學探針。這些外露光學探針的運用結合具有保護的3D平面掃描技術為我們的系統(tǒng)提供了一個廣闊開放的光學平臺——這是我們能夠將AFM技術和其它顯微鏡表征技術*結合的重要原因。

我們的團隊
我們擁有一支專家團隊為我們提供創(chuàng)新技術和高性能的產品。在過去的十年里我們擁有40多名員工并且組建了zui大的SPM專家和科學家團隊。 團隊直接由近場光學奠基人之一的Aaron Lewis 教授帶領十五名科學家為客戶提供以SPM為平臺的產品和。

我的技術服務
我們致力于提供客戶高性能的業(yè)內級產品和高附加值的。從系統(tǒng)安裝開始，我們就區(qū)別于其它競爭對手，為你提供高素質的技術專家安裝設備，提供SPM技術領域的專家指導。通過一對一的與客戶溝通幫助客戶使用儀器。Nanonics在業(yè)內已經有一大批客戶并且客戶通過使用我們的儀器發(fā)表了不少好的文章。這些客戶和客戶的成績也同樣見證了我們?yōu)榭蛻籼峁┝说耐暾腟PM和其他表征整合方案和。


Nanonics近場掃描光學顯微鏡的基本構造：

進行NSOM實驗，必須將點光源靠到樣品表面納米距離，然后點光源掃描樣品表面，再收集探測經過樣品表面的光學信號。我們使用經金屬涂層處理的帶孔洞椎形光纖作為NSOM探針。光經耦合進入探針，從亞光波長孔徑的探針*發(fā)出，NSOM的分辨率就是由孔徑的大小決定（*可以達到50納米）。點光源和樣品表面的距離通常通過正常的力反饋機制（與AFM相同）控制，因此可以進行接觸、敲擊和非接觸模式的NSOM實驗。針對不同的材料和實驗，通常有四種NSOM操作模式：

* 透射模式成像——樣品經過探針照明，光通過樣品并與樣品相互作用后被收集探測；
* 反射模式成像——樣品經過探針照明，光從樣品表面反射并被收集探測；
* 收集模式成像——樣品經遠場光源照明（從上或下面均可），探針將光信號從樣品表面收集；
* 照明收集模式成像——用同一根探針同時進行照明和收集探測反射光；

在近場光學領域，部分掃描模式只有通過Nanonics提供的*玻璃光纖探針才能完成，因為我們*的光纖探針具有很好的波導性能。

收集的光可通過多種探測器探測，如APD（Avalanche Photo Diode）、PMT（Photomultiplier Tube）、InGaAs探測器、CCD或通過光譜儀探測，通過探測器得到的信號經過數據處理得到樣品材料的NSOM圖像。

多探針系統(tǒng)
Nanonics原子力顯微鏡zui多可以同時進行四探針測試，光纖探針各自獨立控制，可以同時分別、獨立進行如滴液、加壓，電學，熱學方面的測試等不同的工作。

技術的*扁平3D 掃描臺
具有技術的掃描臺上下光路開闊，可以將上，下置光學共聚焦顯微鏡*整合到AFM掃描平臺上，在無需更換任何探頭的情況下同步完成的一系列的探針掃描，光學測量，力學測量，熱學電學測量等測試手段，節(jié)約了用戶大量的時間和精力并保證了樣品測試的連貫性。通常很多廠家儀器做不同測試的時候探頭都需要更換，不能同步聯(lián)用并且費時費力。Nanonics這項是目前市場上*的優(yōu)勢技術，并且探針掃描臺和樣品掃描臺可以獨自運作，即可以探針不動，樣品移動；或者樣品不動，探針移動，其它廠家無法提供這種*的掃描方式。掃描的步進位移通過壓電陶瓷驅動精度*，Nanonics原子力顯微鏡分別提供一個85um樣品掃描臺和30um探針掃描臺，XY方向的掃描范圍是110*110um。尤其是Z方向的大掃描范圍是所有AFM廠家無法提供的。另外一個3D掃描臺提供探針掃描和樣品掃描兩種模式，在所有AFM 電鏡中是*的設計。

*的音叉反饋機制
常規(guī)的AFM反饋通過激光反射反饋，具有噪音大，調試困難，受干涉情況；尤其在液體中或者做光學測試的時候，例如近場光學，AFM-Raman測試中，容易被干涉或者干涉有效信號。音叉反饋采用常規(guī)力學反饋避免了以上所有弊病，安裝簡單，結構穩(wěn)定。
技術的懸臂光纖彎針 。Nanonics 原子力顯微鏡的玻璃探針可提供暢通的光學通道，光線能以與傳統(tǒng)直線式近場光學元件相同的效率和偏振性傳輸到探針*。玻璃探針可以做成中空型，用于加載光纖或實現Nano-Pen功能。

多種探針通用平臺
Nanonics 原子力顯微鏡系統(tǒng)不僅可以使用玻璃光纖探針，也可以使用傳統(tǒng)的商業(yè)化AFM/NSOM硅探針，提供了一個通用多探針使用平臺?？蛻粢部梢砸笫褂贸Ｒ?guī)硅懸臂探針。另外Nanonics還可以根據客戶不同的需要定制探針。

的Z 方向探測深度
MV4000在Z方向zui大可探測深度為140um?，非常適合深溝狀樣品。*的懸臂設計不僅能探測深溝底部的形貌，而且可以對側面進行檢測。常規(guī)的硅懸臂探針無法做深溝探測。

*的光學友好性
Nanonics原子力顯微鏡的玻璃光纖探針可提供暢通的光學通道，可同時和正置與倒置顯微鏡配合使用，實現透射式、反射、照明模式、收集模式（Nanonics*的）等多個功能。光纖探針具有良好的光學性能和光導性能，這是硅懸臂探針無法做到的。

拉曼連用平臺
MV4000的玻璃光纖探針具有光學友好特性，可與任何拉曼光譜儀整合，例如常用的Reinshaw 和JY Raman系統(tǒng)?？蓪崿F在線AFM形貌掃描，拉曼Mapping，自動共聚焦，提高拉曼的精度。配合NSOM可以完成微區(qū)Raman，并且還可以做熒光和微區(qū)熒光掃描。由于*的掃描平臺，AFM-Raman 聯(lián)用不僅可以掃描透明樣品還可以掃描不透明的塊狀和薄膜樣品，這也是在AFM-Raman 聯(lián)用案例中*的設計。

TERS玻璃探針
Nanonics在玻璃光纖探針的*采用的獨立金球技術，與其他涂層探針相比，不會因在長時間使用后，受到激光影響而脫落，更為穩(wěn)定，效率更高。配合*的掃描臺設計，可以在光源位置找到*激光偏振位置獲得的TERS信號源。這也是其它廠家不具備的特點。

原子力掃描表征：
-接觸模式（可選）
-探針或者樣品掃描都具有所有原子力顯微鏡的操作模式。
近場光學成像和激發(fā)表征
-透射，反射，收集，激發(fā)模式
界面差別對比表征
-反射和透射模式
折射系數分析表征
-反射和透射模式
熱導和阻值擴散分析表征
-接觸AC模式
-無反饋激光通過外部媒介導入半導體，使用音叉反饋
在線遠場共聚焦拉曼和熒光光譜成像
-反射和透射模式
-針尖增強拉曼散射和在超薄層面上做選擇性拉曼散射，例如應變硅
納米刻蝕
-納米“筆"探針輸送多種化學物質和氣體
-近場光學刻蝕和常規(guī)方式的納米刻蝕技術比如電子氧化等，并且可-以同時使用另外一根探針做在線同步分析
納米壓痕
-使用兆級帕斯卡壓強，通過另外一個附加探針的在線同步分析將力學探針精確定位和控制。

SPM 掃描頭參數：

樣品掃描器
-壓電掃描平臺 （3D 掃描臺™）
-高度7毫米
探針掃描器
-四個獨立控制的壓電掃描平臺（3D 掃描臺™）模塊
-高度7毫米
掃描范圍
-每根單探針掃描范圍30 微米 （XYZ方向）
-僅樣品掃描器掃描范圍100微米（XYZ方向）
-樣品掃描器和單探針掃描器掃描范圍130微米 （XYZ方向）
-樣品掃描器和雙探針掃描器掃描范圍160微米（XY方向）
掃描分辨率
- < 0.05 納米 （Z方向）
-< 0.15納米（XY方向）
-< 0.02納米（XY方向） 低電壓模式
粗定位
-樣品粗調定位： XY 馬達驅動范圍5mm-分辨率0.25微米
-針尖粗調定位：
-XY方向馬達驅動-驅動范圍5mm-分辨率0.25微米
-Z方向馬達驅動-驅動范圍10mm-分辨率0.065微米
反饋機制
-音叉反饋（標準）
-激光反射反饋（可選）
常規(guī)樣品尺寸
-標準尺寸可達到16毫米
-使用上置光學顯微鏡操可達到34毫米
-不使用樣品掃描方式可以達到55毫米
-有些客戶樣品尺寸達到200mm也能掃描
-非常規(guī)尺寸樣品：例如橫截面高低起伏較大的樣品等一些特殊形狀樣品
探針
-*的玻璃探針，針尖可以提供不同的形貌和參雜金屬顆?；蛘咄繉?br/>各種形式的常規(guī)硅懸臂探針也可以使用

成像分辨率：

遠場成像分辨率
-到達衍射限制
光學成像分辨率
-非共聚焦下光學分辨率500納米左右
共聚焦成像分辨率
-200納米
近場光學成像分辨率
-安裝時保證100納米分辨率；50納米分辨率也可以提供
形貌成像分辨率
-Z 方向噪音有效值0.05 納米（RMS）
-XY 橫向分辨率：根據樣品和針尖直徑情況
熱學成像分辨率
-至少100納米
阻值成像分辨率
-至少25納米

熱學&阻值成像：

溫度參數
-300度或者更高，要考慮樣品情況
熱學參數
-*的雙根納米鉑絲嵌在絕緣玻璃探針中
-熱敏感度0.01 oC
-測量阻值改變速率為0.38 Ω/oC
阻值特點
-*的雙根納米鉑絲嵌在絕緣玻璃探針中并且可以做出不同的形狀結構和涂層
-超高電勢分辨率
-接觸電阻極微小
-電學穩(wěn)定& 抗氧化

在線光學和電子/離子光學掃描同步完成

可以完成的表征類別
-遠場光學，共聚焦光學，近場，微區(qū)拉曼，掃描電子顯微鏡（SEM）或者聚焦離子束（FIB）
整合優(yōu)勢
-樣品掃描臺上下光路開闊，可以做光學或電子/離子光學特征同步掃描聯(lián)用

-將所有形式的光學顯微鏡整合在一起，包括上置光學顯微鏡和下置光學顯微鏡同時整合在探針掃描平臺上

-整合了所有標準微區(qū)拉曼180度背反射幾何形貌配置。下置光學顯微鏡和Nanonics*的上下置光學顯微鏡可以做不同的透明和非透明樣品

-具有所有常規(guī)的遠場光學操作模式包括相位成像和界面差別對比

-可以使用上置，下置和雙置光學顯微鏡做任何模式近場光學掃描，無需更換掃描頭保證了實驗結果穩(wěn)定性和可重復性。
探測器類別
-PMT， APD 或者InGaAs 紅外探測器
激光光源
-可提供深紫外到近紅外激光
電視頻系統(tǒng)
-在線CCD 視頻成像